意法半導(dǎo)體（ST）近期宣布與新加坡科技研究局微電子研究所（ASTAR IME）、愛發(fā)科（ULVAC），以及新增的新加坡科技研究局材料研究與工程研究所（ASTAR IMRE）和新加坡國立大學(xué)（NUS）合作，共同深化其在新加坡的“廠內(nèi)實驗室”（LiF）項目。這一合作旨在加速環(huán)保型無鉛壓電材料的應(yīng)用，促進(jìn)傳感器和執(zhí)行器的小型化及成本效益提升。

推動下一代壓電MEMS器件創(chuàng)新

此次合作聚焦于開發(fā)并推廣采用環(huán)保無鉛材料的節(jié)能壓電MEMS器件。這些新型材料將被應(yīng)用于多種領(lǐng)域，如3D投影和成像中的壓電微機械超聲換能器、個人電子產(chǎn)品內(nèi)的微型揚聲器，乃至智能手機攝像頭模塊的自動對焦裝置等。通過整合高等院校、初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)與跨國公司的資源，該項目希望加快從概念驗證到市場產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化過程。

意法半導(dǎo)體模擬、功率分立器件、MEMS和傳感器產(chǎn)品部門副總裁兼中央研發(fā)總經(jīng)理Anton Hofmeister表示：“我們非常高興能夠繼續(xù)推動這項合作，并歡迎新的合作伙伴加入。這不僅有助于推動壓電MEMS技術(shù)的進(jìn)步，還將支持新一代設(shè)備的商業(yè)化。”

強化全球半導(dǎo)體價值鏈中的新加坡地位

新加坡一直致力于成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)，而本次合作正是其實現(xiàn)目標(biāo)的關(guān)鍵步驟之一。新加坡科技研究局創(chuàng)新與企業(yè)副局長Yeo Yee Chia教授指出：“我們的目標(biāo)是探索新材料、工具和工藝模塊的研發(fā)，并尋找將這些成果推向市場的創(chuàng)新方式。” 這種合作模式不僅有助于加速環(huán)保無鉛壓電MEMS器件的市場轉(zhuǎn)化，還進(jìn)一步鞏固了新加坡在全球半導(dǎo)體價值鏈中的核心位置。

愛發(fā)科的專業(yè)貢獻(xiàn)

作為一家專注于先進(jìn)制造技術(shù)解決方案的企業(yè)，愛發(fā)科也參與到了此次合作中。“我們很榮幸能夠參與到這樣一個開創(chuàng)性的項目中，為壓電MEMS行業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。” 愛發(fā)科設(shè)備業(yè)務(wù)總部先進(jìn)電子設(shè)備部執(zhí)行官兼總經(jīng)理Harunori Iwai說道。

廠內(nèi)實驗室：新加坡半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的推動力量

廠內(nèi)實驗室計劃自2020年啟動以來，已經(jīng)取得了顯著成就，比如成功開發(fā)了一種通過物理氣相沉積（PVD）方法生長鋯鈦酸鉛（PZT）薄膜的技術(shù)。相比傳統(tǒng)體壓電技術(shù)，這種方法大大降低了鉛含量。基于此成功經(jīng)驗，目前的合作更加深入廣泛。

此外，廠內(nèi)實驗室還關(guān)注其他前沿技術(shù)領(lǐng)域，如異構(gòu)集成先進(jìn)封裝、碳化硅和氮化鎵等寬帶隙半導(dǎo)體、毫米波射頻技術(shù)和光子學(xué)等。所有這些都已納入新加坡科技研究創(chuàng)新與企業(yè)2025規(guī)劃（RIE 2025），旨在推動新加坡成為一個創(chuàng)新驅(qū)動的社會經(jīng)濟(jì)體。

結(jié)語

意法半導(dǎo)體作為全球領(lǐng)先的MEMS供應(yīng)商，在過去二十多年里始終處于行業(yè)前沿。其垂直整合制造（IDM）模式使其能夠提供從設(shè)計到生產(chǎn)的全方位服務(wù)。隨著廠內(nèi)實驗室項目的擴展，意法半導(dǎo)體不僅增強了自身在MEMS領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位，也為新加坡乃至全球的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入了新活力。未來，該項目將繼續(xù)扮演重要角色，助力新加坡打造一個充滿活力且可持續(xù)發(fā)展的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)。